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超纯水设备助力半导体元器件品质提升

2021-07-26

  电子元器件作为核心基础零部件,既是战略性新兴产业发展的重点领域之一,也是支撑新兴产业发展的关键基础类产品。近几年,我国电子元器件产业发展势头迅猛,产业规模和质量效益实现同步增长,为经济发展提供了充沛动力。

  电子元器件上游产品市场蓬勃发展

  电子元器件产业链上游为原材料,主要包括光电子材料、半导体材料、磁性材料等。光电子材料是在光电子技术领域应用的,以光子、电子为载体,处理、存储和传递信息的材料。新型光电子材料主要包括,纳米结构色、匀光膜、高亮度导光器件、纳米滤光片等新产品。

  半导体材料是一类具有半导体性能,可用来制作半导体器件和集成电路的电子材料。2016-2019年,我国半导体材料市场规模逐年增长,从2016年的68亿美元增长至2019年的87亿美元,复合增长率为8.6%。预计2021年我国半导体材料市场规模将达99亿美元。(数据来源:观研报告网)

 

  水质提升保障半导体元器件品质

  在半导体生产中,超纯水被用于晶圆冲洗、化学品稀释、化学机械研磨、洁净室环境的加湿源等许多场合,超纯水的品质与半导体的良品率直接相关。随着半导体元器件尺寸缩小与精细度上升,超纯水水质的技术要求不断提升,在超纯水的生产过程中,只要微粒子、电阻率、TOC以及气泡中一个指标出现略微差异,就会使半导体元器件生产的合格率下降。

  超纯水的生产自然需要用到超纯水设备。传统超纯水设备需要再生,不能连续产水,不仅效率低,而且浪费资源。莱特莱德EDI超纯水设备采用独有的靶向离子交换系统针对超纯水中难处理的硼及其他离子定向去除同时还能连续、稳定地生产高纯度的超纯水。在晶圆、电子芯片、集成电路、精密仪器、电镀涂装、试剂稀释、氟化工等领域多有应用。

  超纯水设备采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法,将水中的导电介质几乎完全去除,又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。超纯水系统设备的脱盐核心部件为反渗透膜组件,超纯水系统设备通常由预处理部分,反渗透主机部分,后处理部分共同组成。EDI处理装置废水产出量少,不会对环境造成污染,有非常高的环境效益、经济效益。精混床经过技术升级后,无需任何操作能够稳定运行两年,其出水水质能满足芯片生产用水的相关标准,降低企业生产的风险和成本。

  莱特莱德EDI超纯水设备产出超纯水电阻率可达到18 MΩ*cm(25℃),可完全应用于半导体元器件生产行业。超纯水设备可以连续稳定的制备品质优良的超纯水,水质稳定在ppt级别,尤其是硼离子可以≤5ppt,能够更好助力半导体企业的发展,形成更强大的企业竞争力。

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