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电子半导体行业制备超纯水工艺介绍

2013-03-26

  微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高,对水质的要求也越高,这也对超纯水处理工艺及产品的简易性、自动化程度、生产的连续性、可持续性等提出了更加严格的要求。

  应用场合:

  ☆半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路;

  ☆超纯材料和超纯化学试剂;

  ☆实验室和中试车间;

  ☆汽车、家电表面抛光处理;

  ☆光电产品;

  ☆其他高科技精微产品;

  电子级超纯水设备制备超纯水工艺:

  ☆预处理----反渗透----水箱----阳床----阴床----混合床----纯水箱----纯水泵----紫外线杀菌器----精制混床----微孔膜过滤器----用水对象

  ☆预处理----一级反渗透----pH调节装置----中间水箱----二级反渗透----纯水箱----纯水泵----紫外线杀菌器----微孔膜过滤器----用水对象

  ☆预处理----二级反渗透----中间水箱----水泵----EDI装置----纯水箱----纯水泵----紫外线杀菌器----微孔膜过滤器----用水对象 新工艺

  ☆预处理----二级反渗透----中间水箱----水泵----EDI装置----纯水箱----纯水泵----紫外线杀菌器----抛光混床----TOC分解器----微孔膜过滤器----用水对象

  如今环境污染严重,水污染也是日趋严重,所以现在制备纯水成为现在很重要的课题,电子行业超纯水制备工艺也是越来越值得研究,本文为大家介绍了典型的电子级超纯水制备工艺,希望大家能通过文章了解电子行业超纯水制备的知识。

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