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微电子行业超纯水设备

2019-03-13

  电子、半导体、液晶显示、光伏工业生产在制作过程中,往往需要使用极其纯净的超纯水。如果纯水水质达不到生产工艺用水的要求或者水质不稳定的话,会影响到后续工艺的处理效果和使用寿命。因此水的质量相当重要。采用反渗透加EDI的脱盐工艺,可以达到超纯水标准。

  【出水水质】

  超纯水设备出水水质符合中国电子行业超纯水国家标准(GB/T11446.1-1997 )规定。

 

成都超纯水设备

成都超纯水设备

 

  【典型工艺】

  原水箱→原水泵→多介质过滤器→活性碳过滤器→保安过滤器→一级反渗透→二级反渗透→纯水箱→纯水泵→TOC分解器→脱气膜→保安过滤器→EDI装置→纯水箱→纯水泵→抛光混床→膜过滤器→生产线用水点

  【应用】

  微电子行业包括了电解电容器生产、电子管生产、显像管和阴极射线管生产、黑白显像管荧光屏生产、液晶显示器的生产、晶体管生产、集成电路生产、单晶硅、多晶硅生产、电子新材料生产等生产工艺,都需要工业超纯水。

  莱特莱德成都水处理设备公司采用膜法工艺(反渗透→EDI→抛光混床),使超纯水制备从传统的阳离子交换器、脱碳、阴离子交换器、复合离子交换器等发生了一次革命,从此进入了一个无需再生化学品的时代。高科技膜法制备出来的工业纯水,其纯度可达到18MΩ·CM,且系统稳定,使用寿命长,且生产过程所产生的废水又可回用再生。

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