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单晶硅加工用超纯水设备

2015-08-24

  一、单晶硅加工用超纯水设备概述

  单晶硅是制造半导体的主要材料,而半导体在常温下是介于导体与绝缘体之间的介质,在半导体制造过程中,需要使用的水要求非常严格,不允许有导电离子的存在,因此必须使用超纯水对其进行加工,而单晶硅加工用超纯水设备是针对这一行业专门生产设计的,符合该行业用水需求。

  二、单晶硅加工用超纯水设备工艺流程

  预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)

  预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗透膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥17MΩ.CM)

  预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥15MΩ.CM)

  以上工艺各有各的优势,你可以根据你自身的情况选购适合你的工艺。随着科学的发展,很多新的工艺已经替代了旧的工艺。

超纯水设备

  三、单晶硅加工用超纯水设备优点

  1、无需酸碱再生:在混床中树脂需要用化学药品酸碱再生,而EDI则消除了这些有害物质的处理和繁重的工作。保护了环境。

  2、连续、简单的操作:在混床中由于每次再生和水质量的变化,使操作过程变得复杂,而EDI的产水过程是稳定的连续的,产水水质是恒定的,没有复杂的操作程序,操作大大简便化。

  3、降低了安装的要求:EDI系统与相当处理水量的混床相比,有较不的体积,它采用积木式结构,可依据场地的高度和灵活地构造。模块化的设计,使EDI在生产工作时能方便维护。

  以上是单晶硅加工用超纯水设备的简单介绍,想要更好地了解设备的相关内容,欢迎用户前来咨询。莱特莱德成都水处理设备公司作为专业的超纯水设备生产企业,我们专业生产各种适用于不同行业的超纯水设备,该设备采用先进的制水工艺,出水水质优良,受到用户的一致好评。

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