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多/单晶硅加工用超纯水设备

2015-08-17

   一、多/单晶硅加工用超纯水设备概述

  硅是地球上储藏丰富的材料之一,也是电子信息材料基础材料,属于半导体材料,多/单晶硅在加工中需要使用具有一定标准的用水水质进行处理,多/单晶硅加工用超纯水设备则采用先进的制水工艺技术,出水水质可以达到电子行业用水要求。

  二、多/单晶硅加工用超纯水设备典型工艺流程

  预处理系统-反渗透系统-粗混床-精混床-紫外线杀菌器-抛光混床-精密过滤器-用水对象(≥18MΩ.CM)(传统工艺)

  预处理-反渗透-EDI装置-紫外线杀菌器-抛光混床-精密过滤器-用水对象(≥18MΩ.CM)(新工艺)

  预处理-一级反渗透-二级反渗透-EDI装置-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象(≥15MΩ.CM)(新工艺)

  预处理-反渗透-EDI装置-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象(≥5MΩ.CM)(新工艺)

  预处理系统-反渗透系统-粗混合床-精混合床-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象(≥15MΩ.CM)(传统工艺)

  预处理系统-反渗透系统-粗混合床-精密过滤器-用水对象(≥5MΩ.CM)(传统工艺)

超纯水设备

  三、多/单晶硅加工用超纯水设备特点

  采用进口反渗透膜,脱盐率高,使用寿命长,运行成本低廉。

  无需酸碱处理,环保无“三废”。

  自动控制,自动维护,水质在线检测,随时监测水质变化。

  切合当地水质的个性化设计,全方位满足需求。

  全自动控制系统,日常操作极为简便,系统自动进行冲洗维护,制取产品水过程不需要任何手工操作。

  双流路设计,不但可以制造超纯水,还生产纯水,方便用户实验室的不同级别用水要求。

  预留了升级空间。可以根据用户需要轻松实现功能升级。

  以上是多/单晶硅加工用超纯水设备的简单介绍。莱特莱德成都水处理设备公司以科研开发、技术咨询、设备制造、安装调试、设备及配件销售、售后服务为一体的专业化公司。公司坚持诚信永远,兼顾优质服务与双赢的原则,积极开展与国内外知名企业的合作与交流,本着“以质量求生存,以技术求发展”的宗旨,凭借雄厚的技术、经济实力和不断开拓的精神,为用户提供先进的技术、设备和满意的服务。

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