集成电路生产用超纯水设备

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　　一、集成电路生产用超纯水设备概述

　　集成电路生产过程中各个工艺环节对用水要求都大同小异，结合集成电路的工艺特点，集成电路生产用超纯水设备采用的是PLC控制系统，制水工艺将膜分离技术与超纯水技术巧妙的结合，保证设备运行稳定，出水水质达到行业标准用水需求。

　　二、集成电路生产用超纯水设备工艺流程

　　自来水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→低压泵→PH值调节系统→高效混合器→精密过滤器→高效反渗透→中间水箱→EDI水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点

　　三、标准参考

　　显像管、液晶显示器用纯水水质(经验数据)

　　集成电路用纯水水质

　　国家电子级纯水标准

　　中国国家电子级超纯水规格GB/T11446.1-1997

　　四、集成电路生产用超纯水设备特点

　　该系统由单片机(PLC)控制，一切动作均在预设程序下自动进行，具备全自动功能(自动制水、自动冲洗、源水缺水/水箱满水自动停机)。

　　系统结构布置紧凑，占地面积小，有效节约空间。

　　系统能耗低，有效节约能源。

　　耗材寿命长，制水成本低廉。

　　系统运行可靠，供水管路封闭，出水水质稳定。

　　以上是集成电路生产用超纯水设备的简单介绍。莱特莱德成都水处理设备公司是一家集水处理设备的研发、生产、销售、售后服务为一体的专业性水处理设备公司。不断创新，为客户提供优质的产品和售后服务，在业内广受好评，不断得到客户的认可及同行的赞许。

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