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集成电路生产用超纯水设备

2015-08-17

  一、集成电路生产用超纯水设备概述

  集成电路生产过程中各个工艺环节对用水要求都大同小异,结合集成电路的工艺特点,集成电路生产用超纯水设备采用的是PLC控制系统,制水工艺将膜分离技术与超纯水技术巧妙的结合,保证设备运行稳定,出水水质达到行业标准用水需求。

  二、集成电路生产用超纯水设备工艺流程

  自来水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→低压泵→PH值调节系统→高效混合器→精密过滤器→高效反渗透→中间水箱→EDI水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点

  三、标准参考

  显像管、液晶显示器用纯水水质(经验数据)

  集成电路用纯水水质

  国家电子级纯水标准

  国家电子级纯水标准

  中国国家电子级超纯水规格GB/T11446.1-1997

  四、集成电路生产用超纯水设备特点

  该系统由单片机(PLC)控制,一切动作均在预设程序下自动进行,具备全自动功能(自动制水、自动冲洗、源水缺水/水箱满水自动停机)。

  系统结构布置紧凑,占地面积小,有效节约空间。

  系统能耗低,有效节约能源。

  耗材寿命长,制水成本低廉。

  系统运行可靠,供水管路封闭,出水水质稳定。

  以上是集成电路生产用超纯水设备的简单介绍。莱特莱德成都水处理设备公司是一家集水处理设备的研发、生产、销售、售后服务为一体的专业性水处理设备公司。不断创新,为客户提供优质的产品和售后服务,在业内广受好评,不断得到客户的认可及同行的赞许。

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